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Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Pumpen

Montag, 23. März 1998, 09:30–11:30, H48

09:30 VA 1.1 Hauptvortrag: Anforderungen der Halbleiterfertigung an Vakuumpumpen — •P. Reimer und D. Smith
10:10 VA 1.2 Fachvortrag: Compound-Vakuumpumpen für hohe Gasdurchsätze — •C. Reese, H. Lotz und A. Conrad
10:30 VA 1.3 Fachvortrag: Völlig ölfreie neue Vorvakuumpumpe für saubere Anwendungen — •R. Bahnen und G. Hauck
10:50 VA 1.4 Fachvortrag: Charakteristische Eigenschaften von Turbopumpen — •P. Klingner, S. Ernst, F.J. Schittko und H.G. Stüber
11:10 VA 1.5 Fachvortrag: Temperatureffekte in Turbopumpen — •F.J. Schittko
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