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Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 23: Ionenimplantation: Ionenstrahlmischen

Donnerstag, 14. März 2002, 09:30–10:15, HS 32

09:30 DS 23.1 Einfluss des Bestrahlungswinkels auf das Hochenergie-Ionenmischen keramischen Dünnschicht-Systemen — •Wolfgang Bolse, Ando Feyh, Tilman Renz, Beate Schattat , Jens Wiesner, Siegfried Klaumünzer und Frank Schrempel
09:45 DS 23.2 Ion beam mixing and compound formation in metal/semiconductor bilayers systems — •S. Dhar, M. Milosavljevic, P. Schaaf, N. Bibic, and K. -P. Lieb
10:00 DS 23.3 Ionenstrahlinduzierte Grenzflächendurchmischung in CuOx/SiO2 durch elektronische Energiedeposition — •Beate Schattat, Wolfgang Bolse, Ando Feyh, Tilman Renz, Jens Wiesner, Siegfried Klaumünzer, Axel Jasenek und Frank Schrempel
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