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P: Plasmaphysik

P 11: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5

Samstag, 5. März 2005, 11:00–12:45, HU 3038

11:00 P 11.1 Fachvortrag: Phase resolved optical emission spectroscopy in radio frequency excited plasmas — •Timo Gans, Deborah O’Connell, Victor Kadetov, Julian Schulze, Tobias Kampschulte, and Uwe Czarnetzki
11:30 P 11.2 Ion dynamics in plasma boundary sheaths of radio-frequency discharges operated with multiple frequencies — •Deborah O’Connell, Roberto Zorat, Miles Turner, and Bert Ellingboe
11:45 P 11.3 Study of neutral loop discharge (NLD) plasma via PIC simulation — •Murat Vural and Ralf Peter Brinkmann
12:00 P 11.4 Anwendung spektroskopischer Methoden zur Charakterisierung HF–angeregter negativer Ionenquellen (H/D) — •S. Riegg und U. Fantz
12:15 P 11.5 Spektroskopische Untersuchungen an einem mikrowellenerzeugten Luftplasma — •J. Happold, J. Krüger, P. Lindner, A. Schulz, R. Stirn, U. Stroth und M. Walker
12:30 P 11.6 Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Si mit einem Ar/SF6/O2-Plasmajet — •Thomas Arnold und Axel Schindler
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