Kiel 2011 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 17: Poster: Plasmatechnologie

P 17.4: Poster

Mittwoch, 30. März 2011, 16:30–18:30, Foyer

Energiestrommessungen in einer Metallclusterquelle zur Abscheidung von Nanokompositen — •Sven Bornholdt¹, Tilo Peter², Vladimir Zaporojtchenko², Thomas Strunskus², Franz Faupel² und Holger Kersten¹ — ¹Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, D-24098 Kiel — ²Institut für Materialwissenschaft, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, D-24143 Kiel

Nanokomposite, die aus einem Dielektrikum mit eingebetteten Metallclustern bestehen, weisen interessante funktionelle Eigenschaften auf. Die Beeinflussung der Clusterbildung und -größe auf der Substratoberfläche bringt allerdings einige Nachteile mit sich. Aus diesem Grund wird eine zur Clustererzeugung konstruierte Magnetronquelle eingesetzt, mit deren Hilfe die Cluster substratunabhängig in der Gasphase erzeugt werden können. In diesem Prozess werden die Plasmaparameter durch die Mischung von Argon und Helium sowie dem Druck in der Prozesskammer beeinflusst. Um ein tiefergehendes Verständnis der in dieser Plasmaquelle ablaufenden Prozesse, z.B. der Wechselwirkung des Buffergases mit den gesputterten Teilchen zu erhalten, wird diese mittels einer kalorimetrischen Sonde charakterisiert. Von besonderem Interesse sind die Abhängigkeit der Energieeinströme vom Mischungsverhältnis der Gase, dem Druck und der Vorspannung des Substrates bzw. der Sonde. Die Messungen der Energieströme im Plasma und auf das Substrat werden mit den Ergebnissen der UV/VIS Emissions Spektroskopie und den XPS-Messungen zur chemischen Charakterisierung der entstehenden Nanokomposite korreliert.