Kiel 2011 – wissenschaftliches Programm
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P: Fachverband Plasmaphysik
P 7: Poster: Modellierung und Simulation von Niederdruckplasmen
P 7.12: Poster
Dienstag, 29. März 2011, 17:00–19:00, Foyer
Micro Thin Cathode Discharge: eine numerische Parameterstudie — •Alexander Wollny, Markus Gebhardt, Torben Hemke, Ralf Peter Brinkmann und Thomas Mussenbrock — Theoretische Elektrotechnik, Ruhr-Universität Bochum, Universitätsstr. 150, 44801 Bochum, Deutschland
Die Micro Thin Cathode Discharge (µTCD) besteht aus zwei Elektroden, die durch ein Dielektrikum getrennt sind. Das Dielektrikum sowie die Kathode haben eine Dicke von 100 µm während die Anode mit 1 mm deutlich dicker ist. Durch diese Struktur wird ein Loch mit einem Durchmesser von 200 µm gebohrt. Die Entladung wird typischerweise in Argon bei Atmosphärendruck betrieben. Mit einer Spannung zwischen −500 und −1000 V an der Kathode wird ein Plasma in diesem Zwischenraum erzeugt. Abhängig vom Druck weist die Entladung verschiedene Charakteristika auf, die durch verschiedene physikalische Effekte hervorgerufen werden. Experimentell lassen sich Elektronendichten von einigen 1016 cm−3 beobachten [1]. In diesem Beitrag wird ein zweidimensionales Hybridmodell [2] zur Simulation der µTCD verwendet. Dabei wird die angelegten Spannung und der Druck variiert.
Diese Arbeit wird von der DFG im Rahmen der Forschergruppe FOR1123 Physics of Microplasmas unterstützt.
[1] S. Mohr 2010 J. Phys. D: Appl. Phys. 43, 295201
[2] M. J. Kushner 2003 J. Appl. Phys. 92 3, 846-59