Kiel 2011 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 9: Poster: Diagnostik technischer Plasmen

P 9.10: Poster

Dienstag, 29. März 2011, 17:00–19:00, Foyer

Massenspektrometrische Untersuchungen in reaktiven Plasmen mit Precursoren — •Stefan Niemietz, Patrick Sadler, Maik Fröhlich und Holger Kersten — Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, D-24098 Kiel

Reaktive Plasmen sind ein wichtiges Werkzeug im Bereich der Oberflächenbeschichtung, um die Anforderungen in den unterschiedlichen Anwendungsgebieten abzudecken. Daher ist es notwendig, die relevanten Plasmaprozesse genauer zu verstehen. Insbesondere beim Einsatz von Precursoren ist das Verständnis über die Bildung von Molekülfragmenten unabdingbar. In der aktuellen Arbeit wird ein siliziumorganischer (HMDSO) sowie ein aluminiumorganischer (ATI) Precursor zur Abscheidung von Silizium- bzw. Aluminiumoxidschichten in einer kapazitiven HF-Entladung näher untersucht. Zu diesem Zweck kommt ein Plasma-Prozess-Monitor (PPM), d.h. ein Massenspektrometer mit Energieanalysator, zum Einsatz. Mit diesem werden die entstehenden Molekülfragmente analysiert und deren Energieverteilung in Abhängigkeit von Leistung und Gasdruck untersucht. In Ergänzung dazu wird Quantenkaskaden-Laserabsorptionsspektroskopie (QCL) verwendet, um die absolute Konzentration von Methan und Acetylen im Plasma zu bestimmen.