Münster 1997 – scientific programme
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DS: Dünne Schichten
DS 1: BN I
Monday, March 17, 1997, 10:15–11:15, PC 7
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10:15 | DS 1.1 | Computersimulationen zur Schichtabscheidung von Bornitrid — •K. Albe, K.–H. Heinig und W. Möller |
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10:30 | DS 1.2 | Ein einfaches Modell für spannungsinduziertes c-BN-Schichtwachstum in ionenunterstützten Abscheideverfahren — •Thomas Klotzbücher und Ernst Wolfgang Kreutz |
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10:45 | DS 1.3 | In situ Spannungsmessung bei der ionengestützten Abscheidung dünner Schichten — •M. Zeitler, J.W. Gerlach, S. Sienz, T. Kraus, M. Moske, B. Stritzker und B. Rauschenbach |
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11:00 | DS 1.4 | Schwellwerte für die Bildung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid — •H. Feldermann, M. Sebastian, C. Ronning und H. Hofsäss |