Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 17: Ionenimplantation III

Donnerstag, 29. März 2001, 11:15–12:15, S 5.1

	11:15	DS 17.1	Untersuchung ionenstrahlinduzierter Festkörperreaktionen in Si/C Schichtpaketen mittels EXAFS und FTIR — •F. Harbsmeier, A.-M. Flank, F. Roccaforte und W. Bolse
	11:30	DS 17.2	EFTEM Charakterisierung nanometrischer SiCx Ausscheidungen und deren thermisches Verhalten — •Maik Häberlen, J.K.N. Lindner und B. Stritzker
	11:45	DS 17.3	Epitaxial regrowth of Na-implanted α-quartz — •S. Dhar, M. Lang, K. P. Lieb, T. Sajavaara und J. Keinonen
	12:00	DS 17.4	Ion Acoustic Microscopy for Imaging of Buried Structures Based on a Focused Ion Beam System — •Chavkat Akhmadaliev, Lothar Bischoff, Jochen Teichert, Kassym Kazbekov, and Bernd Köhler