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SYPD: Symposium Plasmadeposition von optischen und mechanischen Funktionsschichten

13:30	SYPD 2.1	Invited Talk: Die Multipole-Resonanz-Sonde: Charakterisierung eines Prototyps — •Ralf Peter Brinkmann und und das MRP Team

14:00	SYPD 2.2	Invited Talk: Charakterisierung der ionenunterstützten Abscheidung von TiO2-Filmen in einer APS-Plasmaquelle — •Peter Awakowicz, Nikita Bibinov, Tim Styrnoll, Carsten Schmitz und Detlev Ristau

14:30	SYPD 2.3	Invited Talk: Plasmasonden in IBS-Prozessen — •Carsten Schmitz

15:00	SYPD 2.4	Invited Talk: Struktur-Eigenschaftsbeziehung bei PIAD-Schichten — •Olaf Stenzel

15:30	SYPD 2.5	Invited Talk: Struktur und elektronische Eigenschaften amorpher TiO_{2± x} und Al₂O₃ Schichten, sowie des amorphen TiO₂-SiO₂-Interfaces — •Thomas Köhler, Grygoriy Dolgonos, Michael Bogucki und Thomas Frauenheim