Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

DS: Dünne Schichten

DS 7: Diamant I

Montag, 17. März 1997, 15:15–16:15, PC 7

15:15 DS 7.1 Modell für die Bildung diamantähnlicher Phasen durch Ionendeposition — •H. Hofsäss und C. Ronning
15:30 DS 7.2 In-situ Messung der Filmspannungen während der Gasphasenabscheidung von Diamantschichten auf Silizium — •T. Baur, R. Fehling, M. Schreck und B. Stritzker
15:45 DS 7.3 Tieftemperatur-CVD-Diamantabscheidung mittels halogenhaltiger Precursor-Gase — •Ingo Schmidt und Carsten Benndorf
16:00 DS 7.4 Verlust der epitaktischen Orientierung bei der Mikrowellenplasma-CVD von Diamant unter Biasbedingungen — •K.-H. Thürer, M. Schreck und B. Stritzker
100% | Bildschirmansicht | English Version | Kontakt/Impressum/Datenschutz
DPG-Physik > DPG-Verhandlungen > 1997 > Münster